Microphone électrodynamique mems en technologie cmos

Univ Europeenne - EAN : 9786131584930
TOUNSI-F
Édition papier

EAN : 9786131584930

Paru le : 8 juil. 2011

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  • EAN13 : 9786131584930
  • Réf. éditeur : 5569599
  • Editeur : Univ Europeenne
  • Date Parution : 8 juil. 2011
  • Disponibilite : Disponible
  • Barème de remise : NS
  • Nombre de pages : 172
  • Format : H:229 mm L:152 mm E:10 mm
  • Poids : 262gr
  • Interdit de retour : Retour interdit
  • Résumé : Les microsystèmes (MEMS - Micro-Electro-Mechanical Systems) sont des composants miniaturisés réunissant des fonctions électroniques, mécaniques et optiques sur la même puce. Les technologies microsystèmes conjuguent les techniques du pointe de la microélectronique des semi-conducteurs et les nouvelles techniques du micro-usinage, permettant ainsi la réalisation de systèmes entiers sur une puce (SoC - System on Chip). En plus, cette intégration permettra de miniaturiser le système, d'améliorer ses performances, d'augmenter la sensibilité et de diminuer le bruit grâce à la réduction de la taille des composants et par la suite les capacités parasites dues aux interconnexions. Dans ce cadre vient l'objectif de cette thèse qui a pour but de concevoir et réaliser une nouvelle génération de microphone monolithique de type électrodynamique, à base de bobines spirales planaires, réalisée en technologie standard complétée par un post process de micro-usinage en volume par la face avant.
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