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Etude des mécanismes de croissance catalysés des nanofils de silicium
Univ Europeenne - EAN : 9786131552298
Édition papier
EAN : 9786131552298
Paru le : 12 déc. 2010
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- EAN13 : 9786131552298
- Réf. fournisseur : 4882589
- Editeur : Univ Europeenne
- Date Parution : 12 déc. 2010
- Disponibilite : Manque sans date
- Barème de remise : NS
- Nombre de pages : 236
- Format : H:220 mm L:150 mm E:14 mm
- Poids : 353gr
- Interdit de retour : Retour interdit
- Résumé : Les nanofils de silicium présentent un fort potentiel technologique, qui ne se révèle que lorsque la taille des objets est bien maîtrisée. L'obtention de ces structures par Dépôt Chimique en phase Vapeur est réalisée par croissance catalysée à partir de précurseurs du silicium chlorés ou hydrogénés. On détaille ici les effets du chlore sur la passivation des surfaces de silicium et des flancs des nanofils. Cette passivation ralentit la diffusion du catalyseur (Au) sur la surface mais ne change pas la cinétique de la croissance (axiale) du fil. On obtient ainsi une croissance reproductible et stable de nanofils notamment pour les diamètres supérieurs à 20 nm. L'effet du chlore est également visible sur les flancs des nanofils, où les facettes évoluent plus ou moins vite selon la vitesse de croissance radiale. La passivation de la surface des nanofils permet donc la stabilisation de leur croissance et le contrôle de leur morphologie.
- Biographie : Après un master en physique, je me suis dirigé vers la synthèsede nano-objets par Depot Chimique en phase Vapeur (CVD). Lors dema thèse j'ai étudié plus en détail les nanofils de silicium etles interactions entre les phases gaz et condensées lors d'uneétape de dépot par CVD.
